Pompe turbomoléculaire pour les fours tubulaires
La pompe turbomoléculaire est constituée de stators entre plusieurs rotors à grande vitesse. La vitesse de rotation est d'environ 90 000 tr/min. À ces vitesses, le rotor se trouve dans la zone de la vitesse des particules permettant de pousser le gaz à travers la pompe. En combinaison avec une pompe de pré-vide, le niveau de vide réalisable se situe dans la gamme du vide poussé ou mieux.
Les pompes turbomoléculaires sont les pompes les plus pratiques et les plus fréquemment utilisées pour le fonctionnement sous vide élevé et ultravide. Une très grande pureté atmosphérique de la chambre du four est obtenue car la pompe élimine facilement les particules lourdes et lentes, telles que les hydrocarbures.
La version de la pompe turbo de Carbolite Gero se compose d'une pompe à vide, d'un kit gaz inerte, d'une jauge à vide, d'une vanne étanche au vide, d'un bypass pour une purge rapide, d'une vanne de sortie de gaz et d'une soupape de sécurité en cas de surpression. Dans un four froid, propre, sec et vide, l'option turbo-pompe atteint 5 x 10-5 mbar.
