Four tubulaire avec huit zones - AZ
Le four AZ est un four tubulaire constitué de huit zones de chauffe indépendantes. Ces zones peuvent être utilisées pour générer des profils de température le long de la longueur de chauffe du four. Le four tubulaire est basé sur un four tubulaire de type F. Les éléments chauffants sont constitués d'un alliage CrFeAl également connu sous le nom APM. Le fil de l'APM a un diamètre de 5 mm. La bobine de chauffage CrFeAl exposée est montée sur un module en fibre céramique créant une conception robuste. L’isolation en fibre de céramique de faible densité thermique stocke une quantité minimum de chaleur ce qui fournit globalement une efficacité élevée pour le chauffage et le refroidissement du four. Les huit zones, l’isolation épaisse et l’enroulement très symétrique des éléments chauffants dans l'ensemble du four garantissent une uniformité de plus de ± 5 K. Un avantage clé des huit zones contrôlées individuellement est l'extension de la longueur uniforme à l'intérieur du four. De plus, le profil de température peut être contrôlé avec précision pour les rampes, les pics, ou d'autres profils définis par l'utilisateur. Un procédé bien adapté pour le four tubulaire AZ est le dépôt chimique en phase vapeur car un gradient de température peut être établi dans le four pour l'évaporation du matériau précurseur à la fin de la zone de haute température et la sublimation de la vapeur sur le substrat à la fin de la zone de température de refroidissement. Toutes les zones sont contrôlées et surveillées individuellement avec des thermocouples. Les thermocouples sont étendus à travers l'isolant et disposés à côté des éléments chauffants avec de longs câbles de 3 m. Pour une protection supplémentaire, un thermocouple indépendamment dédié est connecté à un régulateur de surchauffe.
Vue interne du four AZ
